Вакуумнае пакрыццё павялічвае тэрмін службы расходных матэрыялаў у паўправадніковай прамысловасці і скарачае час прастою камеры.Матэрыялы пакрыцця вар'іруюцца ад плаўленага дыяксіду крэмнія да стабілізаванага аксіду цырконія, і пакрыцця аптычна празрыстыя і хімічна інэртныя.Усё гэта азначае зніжэнне кошту валодання за кошт сінхранізацыі цыклаў тэхнічнага абслугоўвання.
Час публікацыі: 16 чэрвеня 2022 г